POLOS® SPIN200x 基材旋涂机 PTFE 高级版
POLOS® SPIN200x是一种多功能、高质量的基材旋涂机,由PTFE 制成。
它专为研发和小批量生产而设计。
可以同时实现台式(Table top)和嵌入式(In-deck)版本,用于手动或自动(可选)化学药剂分配。
适用于涂层、清洁、冲洗/干燥、显影、蚀刻、PDMI 及其他工艺。
POLOS® SPIN200x 基材旋涂机 PTFE 高级版
腔室规格:
- 最大支持8" (200mm) 晶圆
- 最大支持6" x 6" (105mm) 基板
- 材质: PTFE
硬件规格
- 液体过滤器
- 具有特殊的外壳和排水设计,可在现场轻松切换台式和嵌入式型号.
- 配备中心注射架,用于安装注射器或分配喷嘴
- 盖锁和真空传感器确保用户安全
-大型(可拆卸)触摸显示屏
- USB 端口,用于在 USB 驱动器上存储配方和进行软件更新
- 8 I/O 端口
- 能够定义电机归零位置,便于在机器人控制/自动化环境中进行集成
- 通过集成步进电机实现自动开盖和关盖.
驱动单元规格:
- 采用间接无刷驱动单元
- 最高转速可达12,000 RPM(取决于基板/卡盘)
- 具有高加速度和高精度
- 加/减速范围为1-30,000 RPM
- CW、CCW旋转和Puddle选项
随附旋涂仪卡盘和适配器:
-随附1x A-V87-S96-PP-HD, 真空卡盘
或
-随附1 x A-V36-S45-PTFE-HD, 真空卡盘
-随附1 x D-V10-S50-PTFE-HD, 碎片适配器
- FCA SPS-Europe, The Netherlands
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